MPS150是一款易于使用且高精度的手动探针平台,适用于max. 150 毫米的晶圆和基板。它支持多种应用程序和附件。模块化和灵活的设计允许配置和个性化系统以满足应用要求。借助测量精度系统集成 (SIGMA) 套件,MPS150 可以与第三方仪器无缝集成,确保短的信号路径。
性能特点
灵活性
非常适合各种应用,例如射频、毫米波和亚太赫兹表征、FA、DWC、MEMS、光电测试和 WLR
随着需求的增长可重新配置和升级
在不损失性能或精度的情况下大限度地缩短设置时间
各种测量仪器的无缝集成
稳定
紧凑而坚固的机械设计
内置隔振解决方案,可实现振动衰减
高度准确的测量结果
采用知名的方法
便于使用
符合人体工程学的简单设计,操作轻松
通过拉出阶段快速且符合人体工程学地更换 DUT
快速获取数据