晶圆/大幅面VR板™非常适合：
完整或部分晶圆和基板，范围从75mm到450mm。
必须避免与顶部表面或边缘接触的应用。
在胶片架上划片。
处理薄的高价值衬底，如易碎的InP晶片、GaAs晶片、AFM晶片、MEMs晶片。
晶圆/大幅面印版的工作原理
该产品基于与VR托盘完全相同的Gel-Pak Vacuum Release®技术，只是VR表面（Gel&Mesh）构建在一个更大的平板上，而不是模制托盘内。这些VR板可以单独购买，也可以与用于储存保护的外部容器盒一起购买。
一种特殊版本的大尺寸载体可用于运输安装在膜架上的200mm和300mm晶圆。切割时，VR板固定未膨胀的模具，以防止潜在的边缘损坏。
可以根据您的具体要求设计和制造定制VR板尺寸。
配置
XT、XL和X4的凝胶保留水平
